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中文名：六氟化鎢

英文名：Tungsten hexafluoride

化學(xué)式：WF6

分子量：297.830

CAS號：7783-82-6

EINECS號：232-029-1

熔    點：2.3 ℃

沸    點：17.5 ℃

密    度：13.1 kg/m3

外    觀：無色氣體

溶解性：溶于多數(shù)有機溶劑

六氟化鎢，無色氣體或淺黃色液體，固體為易潮解的白色結(jié)晶，在潮濕空氣中冒煙。主要用于鎢的化學(xué)蒸鍍，用作氟化劑。

六氟化鎢（WF6）是唯一能穩(wěn)定存在的鎢的氟化物，具有極強的腐蝕性，可根據(jù)外界環(huán)境的變化表現(xiàn)出靈活的物化性能，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的各個領(lǐng)域。六氟化鎢在電子工業(yè)中主要作為集成電路的配線材料使用，其在經(jīng)過化學(xué)氣相沉積工藝后可形成金屬鎢導(dǎo)體膜，鎢導(dǎo)體膜在集成電子學(xué)中通常被用作高傳導(dǎo)性的互連金屬、金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔以及鋁和硅間的隔離層，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成領(lǐng)域；另外，六氟化鎢還可以應(yīng)用于太陽能吸收器以及X射線發(fā)射電極的制造、導(dǎo)電漿糊等電子元器原材料。

包裝：15KG/10L鋼瓶、50KG/40L鋼瓶。