中文名:三氟化氮
英文名:Nitrogen trifluoride
化學式:NF3
分子量:71.002
CAS號:7783-54-2
EINECS號:232-007-1
熔 點:-207 ℃
沸 點:-129 ℃
水溶性:不溶
外 觀:無色氣體
溶解性:不溶于水
中文名:三氟化氮
英文名:Nitrogen trifluoride
化學式:NF3
分子量:71.002
CAS號:7783-54-2
EINECS號:232-007-1
熔 點:-207 ℃
沸 點:-129 ℃
水溶性:不溶
外 觀:無色氣體
溶解性:不溶于水
三氟化氮NF3是一種無色氣體,在半導體工業(yè)中有重要應用,尤其是在等離子體蝕刻中,用作蝕刻氣體的成分之一。除此之外,NF3還在科研、軍事等領域有所應用。
三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。
高純?nèi)獛缀鯖]有氣味,它是一種熱力學穩(wěn)定的氧化劑,大約在350℃左右可分解成為二氟化氮和氟氣,故其反應性質類似于氟。三氟化氮用作氧化劑時,在發(fā)生反應的同時,可作為二氟化氮游離基的供給源。
包裝:20KG/47L鋼瓶、200KG/440L鋼瓶。