中文名:全氟丁二烯
英文名:perfluorobuta-1,3-diene
中文別名:全氟-1,3-丁二烯、六氟-1,3-丁二烯
密度:1.4±0.1 g/cm3
沸點:18.6±35.0 °C at 760 mmHg
熔點:-132oC
分子式:C4F6
分子量:162.033
CAS:685-63-2
EINECS:211-681-0
外觀性狀:無色,無氣味的液化氣體。
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中文名:全氟丁二烯
英文名:perfluorobuta-1,3-diene
中文別名:全氟-1,3-丁二烯、六氟-1,3-丁二烯
密度:1.4±0.1 g/cm3
沸點:18.6±35.0 °C at 760 mmHg
熔點:-132oC
分子式:C4F6
分子量:162.033
CAS:685-63-2
EINECS:211-681-0
外觀性狀:無色,無氣味的液化氣體。
六氟丁二烯又稱全氟丁二烯,六氟丁二烯主要用作合成原料、電子特氣,用于化學合成、電子蝕刻等領域。最初合成出來是作為聚合物的單體,但是其聚合物的性能不佳,沒有得到進一步的研究和應用。近年對六氟丁二烯的應用研究則主要集中在它作為電子蝕刻氣體上。在電子蝕刻方面,六氟丁二烯可用作蝕刻氣體,具有高選擇性、高蝕刻精度、高蝕刻效率、低環(huán)境污染等優(yōu)點,發(fā)展?jié)摿Υ?,因此,此領域成為六氟丁二烯的主要下游市場。
含氟電子特氣是電子特氣的重要組成部分,可用于清洗、蝕刻等方面,而電子級六氟丁二烯是含氟電子特氣產品之一。
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