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四氟化碳是一種鹵代烴，化學式CF4，無色，無味，無嗅氣體。不溶于水，常壓下25℃時為0.0015，溶于氯仿和苯。本Chemicalbook品無毒、不燃。高濃度時有麻醉作用。其高純氣及其配高純氧氣的混合氣，是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，也可作為低溫制冷劑、低溫絕緣介質(zhì)。

中文名:四氟化碳

外文名:Carbon tetrafluoride

別    名:四氟甲烷、Freon-14、R 14、全氟甲烷  

化學式:CF4

分子量:88

水溶性:不溶于水

外觀:無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體

應用:用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體及制冷劑

儲存注意事項：儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。